WAlN-SA001 AlGaN エピタキシャルシート

WAlN-SA001
製品型番 WAlN-SA001
製品カテゴリ AlGaN エピタキシャルシート
あつさ [0。 1、 1) μm
(002) ≤ 100 arcsec
(102) ≤ 800 arcsec

製品の説明

に基づく MOCVD プロセスの高品質 AlN/Sapphire テンプレート

基本パラメータ

パラメータ名 パラメータ値
Diameter 2 inch
Substrate Sapphire
Substrate Thickness 430±20 μm
Epilayer Thickness [0。 1、 1) μm
FWHM of 002 XRC ≤ 100 arcsec
FWHM of 102 XRC ≤ 800 arcsec
Front side roughness ≤ 1。 5 nm (10×10 μm)
Edge exclusion ≤ 3 mm
Through Crack None
Surface orientation of a-plane 0°±0。 1°
Surface orientation of m-plane 0。 2°±0。 1°
Primary flat orientation a-plane±0。 1°
Primary flat length 16±1 mm
Back side roughness 0。 8±0。 2 μm

よくある質問

肉眼で見える色は UV-C LED 発光スペクトルの可視部分、 それは半導体ざいりょう中の酸素置換位に由来する、 格子不整合転位などの各種深準位と伝導帯準位との間の電子遷移。 欠陥エネルギー準位位置は量子井戸の価電子帯よりも高い、 だから電子遷移から放出される光子の波長はもっと長い、 通常、 450nm 左右、 可視光。 半導体装置の精度に制約、 ウエハ上の異なる領域のチップと異なるバッチのチップ、 そのざいりょう欠陥濃度、 欠陥カテゴリにはわずかな違いがあります。 この違いにより、 可視光を放出する深準位の位置に差が生じる、 さらに異なる波長の可視光を放出する、 異なる色を描画。 波長差は小さいが、 しかし肉眼感知は明らかである。
UVC-LED オゾンが発生しない、 酸素共有結合結合エネルギーが最大になるため 5。 1eV、 対応する必要がある波長は少なくとも 243nm の紫外線を遮断することができます、 最終生成オゾン。

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