WAlN-SA004 AlGaN エピタキシャルシート
 
                                        
                                    | 製品型番 | WAlN-SA004 | 
| 製品カテゴリ | AlGaN エピタキシャルシート | 
| あつさ | [3、 4) μm | 
| (002) | ≤ 180 arcsec | 
| (102) | ≤ 400 arcsec | 
製品の説明
基本パラメータ
| パラメータ名 | パラメータ値 | 
|---|---|
| Diameter | 2 inch | 
| Substrate | Sapphire | 
| Substrate Thickness | 430±20 μm | 
| Epilayer Thickness | [3、 4) μm | 
| FWHM of 002 XRC | ≤ 180 arcsec | 
| FWHM of 102 XRC | ≤ 400 arcsec | 
| Front side roughness | ≤ 1。 5 nm (10×10 μm) | 
| Edge exclusion | ≤ 3 mm | 
| Through Crack | None | 
| Surface orientation of a-plane | 0°±0。 1° | 
| Surface orientation of m-plane | 0。 2°±0。 1° | 
| Primary flat orientation | a-plane±0。 1° | 
| Primary flat length | 16±1 mm | 
| Back side roughness | 0。 8±0。 2 μm | 
よくある質問
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