WAlN-SA003 AlGaN エピタキシャルシート
| 製品型番 | WAlN-SA003 |
| 製品カテゴリ | AlGaN エピタキシャルシート |
| あつさ | [2、 3) μm |
| (002) | ≤ 150 arcsec |
| (102) | ≤ 500 arcsec |
製品の説明
基本パラメータ
| パラメータ名 | パラメータ値 |
|---|---|
| Diameter | 2 inch |
| Substrate | Sapphire |
| Substrate Thickness | 430±20 μm |
| Epilayer Thickness | [2、 3) μm |
| FWHM of 002 XRC | ≤ 150 arcsec |
| FWHM of 102 XRC | ≤ 500 arcsec |
| Front side roughness | ≤ 1。 5 nm (10×10 μm) |
| Edge exclusion | ≤ 3 mm |
| Through Crack | None |
| Surface orientation of a-plane | 0°±0。 1° |
| Surface orientation of m-plane | 0。 2°±0。 1° |
| Primary flat orientation | a-plane±0。 1° |
| Primary flat length | 16±1 mm |
| Back side roughness | 0。 8±0。 2 μm |
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